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VT-50L线性工件台因其紧凑的设计而结构小巧。利用二步进电机,配备了两个机械限位开关。预装滚珠轴承(可选十字形四轴承)创建高刚度和优越性能。VT-50L可用与一个直线编码器实现50nm的分辨率。工件台可以直接安装于XY或使用一个安装支架加至Z轴。行程10mm及以下VT-50可不通过适配器直接结合ES-50使用。适用于真空(10 - 6 mbar)环境。VT-50L兼容mmc - 200控制器。
主要参数:
行程:50-300mm(根据定制需求行程可达500mm)
闭环分辨率:50nm
负载:20kg
钢珠轴承
集成机械限位开关
适用真空环境
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