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电动位移台应用案例——光学显微镜改造

发布时间 : 2023-03-09 16:56:35
光学显微镜改造的必要性
光学显微镜在工程领域及科学研究中发挥着重要作用。随着被测物的不断变化,对显微镜测量精度的要求不断提高,对载物台的位移精度、实现功能要求越来越高,电动化的需求日渐显现,特别是在高倍率物镜下,视野范围小,任何不精准的移动都可能造成被观察的特征移出视野范围的可能。
如何实现光学显微镜升级改造
现有手动载物台可以实现多轴的移动或转动调节,并可通过手轮提供精度较高的位移步距。但手动载物台存在一些限制:不能恒定的输出相同的步距,存在人为误差;随使用时间的增加,手轮的阻尼会越来越小,容易出现无法精确定位的情况,且更容易受到外界的干扰;手动载物台需要人为接触操作,当由显示器观察时,因距离的关系操作非常不便,而长时间使用目镜观测会导致眼睛疲劳。
电动位移台因为精度高响应快,广泛用作电动载物台。电动载物台能够实现高精度的位移输出,更加准确的量化步距,实现高精度重复定位和细致的位移控制等功能,提升研究工作的效率。
除了实现载物台电动化,配合集散控制技术和模块化嵌入式结构还可以进一步实现显微镜自动化升级改造。
通过先进的控制技术,可以实现载物台XYZ三轴控制,快速大范围自动对焦;采用二维自动载物平台,实现样品的自动调整,高效快速的将目标样品调整到物镜的视场内;采用CCD将图像传输到显示器上,彻底脱离站立式人眼观察样品的模式。
升级改造后的全自动显微镜可通过软件实现全景自动扫描、自动拼图、自动回位、同步浏览、远程遥控等全自动化功能,可以大大提高使用者的工作效率目。
纳米位移台的主要组成部分及其分类(三)

发布时间 : 2023-02-16 13:31:55
纳米位移台的主要组成部分
纳米位移台作为微观领域内常用的机械机构,已经有了一套成熟系统。其中主要包括驱动控制机构、导向机构和检测装置。之前带大家了解了驱动控制机构和导向机构(回顾戳这里→驱动控制机构/导向机构),今天就带大家了解一下检测装置。
检测装置
在微纳定位系统中比较常用的检测装置有电容式位移传感器、差动变压器式位移传感器、光栅尺和激光干涉仪等。
①电容式位移传感器
电容式位移传感器由动静极板组成,当动静极板之间发生相对的机械位移时,电容量会随之发生改变,电容改变量即可反映机械位移量的变化。电容式位移传感器的优点是可以实现非接触式测量,结构简单、体积小、响应快、分辨率高(可达纳米级),在微纳检测领域得到了广泛应用。
②差动变压器式位移传感器
差动变压器式位移传感器利用电磁感应中的互感现象进行信号转换,将被测位移转化为线圈互感的变化,从而输出交流电压量。其幅值与铁芯的位移成正比,其相位反映位移方向,差动变压器式位移传感器的优点是使用方便,线性范围大,稳定性好,测量精度较高。缺点是测量频率上限受到其机械部分固有频率的限制,且一般是接触式测量。
③光栅尺
光栅尺由光源、标尺光栅、指示光栅、透镜及光敏元件等组成。机械位移的测量根据指示光栅与标尺光栅形成的莫尔条纹信息来实现。光栅尺位移传感器的优点是量程广、响应快,测量精度高、无磨损,分辨率可达几十个纳米。缺点是对环境要求较高,需要严格的防尘防污。
④激光干涉仪
激光干涉仪是以及波长为已知长度,利用光的干涉原理来测量位移的装置。在长度测量中最常用的是迈克尔逊双光束干涉系统。激光干涉仪的测量精度高,分辨率可达亚纳米级别,常用于精密机械和仪器的校准,但其结构庞大,价格昂贵。
适当的控制方法和控制算法对保证微纳米定位系统的精度有重要意义。常用于微纳米定位系统中的微驱动器,如电致伸缩驱动器和压电陶瓷驱动器,都有明显的非线性和迟滞特性。开环控制不能达到很高的定位精度,带有反馈的闭环控制,则可以显著提高定位的精度。在控制算法上,除传统的PID控制算法外,还出现了神经网络算法、模糊算法、自适应算法和遗传算法等,也有学者将其中的两种或几种算法结合起来进行负荷控制。
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纳米位移台的主要组成部分及其分类(二)

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