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VT-21L线性工件台因其紧凑的设计而结构小巧。利用二步进电机,配备了两个机械限位开关。预装滚珠创建高刚度和优越性能。VT-21L可用与一个直线编码器实现50nm的分辨率。工件台可以安装在XY或XYZ，实现空间的节省。适用于真空(10 - 6 mbar)环境。VT-21L兼容mmc - 200控制器。
主要参数：
行程：26mm
最大负载：1kg
最大速度：5mm/s
典型分辨率：0.05um
双向可重复性：+/- 0.2um
单向可重复性：0.2um
编码器选择：模拟信号，数字信号
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