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ETSA-300气浮平台

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产品编号
ETSA-300
所属分类
气浮平台
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产品描述
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ETSA-300气浮平台

说明:

1.气浮平台克服了传统机械定位台行程短,响应滞后大,摩擦阻力等不足,实现了长行程高精度与高速定位功能,在半导体光刻设备,精密测量和生物医学等领域中具有不可替代的作用。

2.重复定位精度高,俯仰偏摆角度小,运动台与导轨使用同种材料,在温度变化较大的工况下不会出现气 浮台常见的“抱死”现象。

特点:

通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触,提高平台机构运动精度、表面平滑、微小偏差(俯仰, 偏摆等)、性能稳定、没有机械损耗、“零”摩擦可使其进入纳米级应用。

使用场所:

精密加工、精密测量、微电子制造业、光刻机平台、半导体加工业、扫描。

关键词:
气浮平台
高精度运动平台
长行程运动台
高精度位移平台
精密测量
精密加工
光刻机平台
高精度扫描
半导体加工
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型号

ETSA-300

行程 ( mm)

300

驱动方式

直线电机

电机连续/峰值推力 (N)

100/400

反馈方式

光栅反馈系统

反馈系统分辨率 (nm)

25

最大速度(mm/s)

700

最大加速度(空载)(g) 

1(无负载)

最大负载(kg)

25

精度 (μm)

±1

重复定位精度 (μm)

±0.2

直线度 (μm)

±0.5

平坦度 (μm)

±0.5

动态平坦度 (μm)

±0.5

偏摆 (arc-sec)

3

俯仰 (arc-sec)

3

工作压力 (bar)

4±0.3

气浮平移台ETSA-300 尺寸图

 

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  • ETSA-300三维模型图.x_t

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    2020-09-08 13:56:09
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