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宏观结合运动控制系统

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应用于白光干涉仪的检测设备。

图样实例参数:

宏动平台X-Y:300×300mm;

宏动平台双Z轴:100mm;

微动平台X-Y:100×100μm;

系统综合重复定位精度:200nm。

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应用于白光干涉仪的检测设备。

图样实例参数:

宏动平台X-Y:300×300mm;

宏动平台双Z轴:100mm;

微动平台X-Y:100×100μm;

系统综合重复定位精度:200nm。

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