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PPS-110LM精密定位平台

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电机
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PPS-110LM直线电机是高精度,长行程直线位移台。可适用压电电机、直线电机和滚珠丝杠驱动。不锈钢滚珠保证平滑运动和精度,负载高达25kg。闭环条件下使用高精度数字编码器可达到2nm分辨率。

 

主要参数:

行程:100-1000mm

最大负载:25 kg

最大速度:250mm/s

分辨率:2nm

双向可重复性:+/- 20nm

单向可重复性:20nm

编码器选择:数字信号

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运动特性

行程[mm]

100

200

300

500

1000

直线度/平面度[µm]

±3

±4

±5

±10

±15

倾斜[µrad]

±75

±100

±125

±200

±300

偏航[µrad]

±75

±85

±100

±200

±300

 

电机特性

电机

直线电机

最大速度[mm/s]

250 (取决于负载)

 

反馈特性

编码器

数字(RS-422)

典型分辨率[µm]

0.002

双向重复性[µm]

±0.02

单向重复性[µm]

0.02

 

负载特性

方向

Fx

[N]

Fy

[N]

Fz

N]

Mx

N·m]

My

[N·m]

Mz

[N·m]

kax

[µrad/N·m]

kay

[µrad/N·m]

最大负载

150 peak, 50 连续

150

250

60

30

35

50

50

 

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