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PPS-60LM精密定位工件台

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电机
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PPS-60LM直线电机是高精度,长行程直线位移台。可适用压电电机、直线电机和步进电机。滚珠保证高刚度和精度,负载150N。PPS-60可选用一个直线编码器用以提高分辨率和重复性。PPS-60可不使用适配器安装于XY轴,可使用安装支架安装于Z轴。

 

主要参数:

行程:25-300mm

最大负载:15 kg

最大速度:100mm/s

分辨率:0.002um

双向可重复性:+/- 0.20um

单向可重复性:0.02um

编码器选择:模拟信号,数字信号,低价数字信号

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电机特性

电机

直线电机, LM-002

最大速度[mm/s]

100

运动特性

行程[mm]

25

50

100

200

300

直线度/平面度[µm]

±2.5

±4

±6

±8

±10

倾斜[µrad]

±50

±75

±100

±125

±150

偏航[µrad]

±50

±75

±100

±125

±150

 

反馈特性

编码器

模拟(1Vpp)

数字(RS-422)

低花费数字

典型分辨率[µm]

0.001

0.002

0.5

双向重复性[µm]

±0.05

±0.02

±1

单向重复性[µm]

0.05

0.02

1

 

负载特性

方向

Fx[N]

Fy[N]

Fz[N]

Mx[N·m]

My[N·m]

Mz[N·m]

kax[µrad/N·m]

kay[µrad/N·m]

最大负载

5

100

150

10

10

10

100

100

 

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