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PP-12压电驱动平台

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产品编号
所属分类
压电平台
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-
+
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1
产品描述
产品规格
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行程:4mm

最大负载:0.25kg

最大速度:3 mm/s

分辨率:20nm

双向可重复性:+/- 200nm

单向可重复性:200nm

编码器选择:数字信号

PP-12是一种超小型直线压电平台。通过使用一个多相位压电电机结合钢球保证其高负载能力,并允许无阻直行达4mm。PP-12可不使用转接板直接进行X-Y轴安装。适用于真空环境。与MMC-100以及MMC-110控制器兼容。

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运动特性

行程[mm]

4

直线度/平面度[µm]

± 2

倾斜[µrad]

± 150

偏航[µrad]

± 150

重量[g]

13

电机特性

电机

压电电机, PM-002

最大速度[mm/s]

1 (MMC-100), 3 (MMC-110)

反馈特性

编码器

(开环)

外加

分辨率[nm]

1

20

双向重复性[nm]

n/a

± 200

单向重复性[nm]

n/a

200

负载特性

方向

Fx [N]

Fy [N]

Fz [N]

Mx [N·m]

My [N·m]

Mz [N·m]

最大负载

1

2

2.5

0.3

0.2

0.3

 

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