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PVS-50-20G/GL系列惯性电机升降台

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PVS系列产品采用惯性电机驱动,反馈系统可选光栅反馈或微型反馈系统,可实现更高精度,高稳定性定位操作,特别适用于空间小,负载小精度要求高的运用场景,最小步进量可达纳米级。

特点:小尺寸,高精度。

使用场景:光学腔体、真空环境、小空间运用场景。

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型号

PVS-50-20

行程(mm)

20

直线度(μm)

±5

偏摆(arcsec)

±40

俯仰(arcsec)

±20

最大速度(mm/s)

2

最大负载(kg)

2

驱动方式

惯性电机

 

微型反馈系统(G)

光栅反馈系统(GL)

分辨率(nm)

18

100

闭环重复定位精度(nm)

±150

±250

开环最小步进量  (nm)

10

10

闭环最小步进量  (nm)

36

200

 

PVS-50-20G尺寸图

 

PVS-50-20GL尺寸图

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