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PTS-50-25-2G/GL系列惯性电机平移台

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PTS-50-25-2G/GL系列惯性电机平移台

说明:PTS-50-25-2G/GL系列平台采用惯性电机作为驱动,反馈系统可选配光栅反馈或微型反馈系统,均具有优良的定位及位置反馈性能,结构小巧,可实现两维运动。主体采用高硬度航空铝材质,驱动部件最小步进量可达纳米级,因此适用于小空间、小负载、微米及纳米级运动定位运用场景。

特点:超小体积、高重复定位精度。

使用场景:光学腔体、真空环境、小空间运用场景。

关键词:
惯性电机平移台
惯量电机
真空位移台
精密伺服滑台
电控位移台
高精度定位平台
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型号

PTS-50-25-2

PTS-50-25-2G

行程(mm)

25×25

25×25

直线度(μm)

±3.5

±3.5

偏摆(arcsec)

±40

±40

俯仰(arcsec)

±20

±20

最大速度(mm/s)

2

2

最大负载(kg)

1

1

驱动方式

惯性电机

惯性电机

控制方式

开环

闭环

分辨率(nm)

-

20

闭环重复定位精度(nm)

±250

±250

开环最小步进量 (nm)

10

-

闭环最小步进量 (nm)

-

200

 

PTS-50-25-2G/GL尺寸图

  • PTS-50-25-2G尺寸图.pdf

    大小:
    2020-04-20 17:02:20
  • PTS-50-25-2G.x_t

    大小:
    2020-04-20 17:11:30
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